Header product
Магнетронный коатер для нанесения прецизионных покрытий

HELIOS series

Установка магнетронного напыления HELIOS от Бюлер разработана с учетом самых высоких требований к тонкопленочным покрытиям. Используется для нанесения сложных оптических фильтров с выдающимися оптико-механическими характеристиками при производстве, лазерных и чирпированных зеркал, поляризаторов, светоделителей, био- и ADAS-датчиков или бытовой электроники.

Header product

Ключевые преимущества

Устанавливаем новые стандарты производительности

Helios устанавливает новые стандарты для фильтров, состоящих из более чем 200 слоев и толщиной свыше 20 мкм. Он помогает получить правильное окисление пленки, высокую плотность слоя и малые потери в наносимых слоях, что является залогом высокого значения лазерной прочности, низкого рассеяния и высокой отражающей способности получаемых покрытий.

Инновационная технология PARMS

В установках Helios используется технология PARMS — магнетронное распыление с радиочастотной плазменной поддержкой. Это обеспечивает точный контроль за нанесением сверхтонких — атомарных — слоев и предназначено для крупномасштабного производства высококачественных продуктов.

Задавая стандарты прямого оптического контроля напыления

Система Helios создана обеспечивать превосходную стабильность процесса и продукции. Поскольку она может наносить даже ультратонкие слои с идеальной точностью.

Основные характеристики

Технология PARMS

Очень тонкие слои

Технология PARMS — магнетронное распыление с радиочастотной плазменной поддержкой — производит напыление диэлектрических слоев из металлических мишеней с высокими и низкими показателями преломления. Сочетает в себе технологии среднечастотного (MF) и радиочастотного (RF) распыления с двух магнетронов. Результатом точности напыления атомарного уровня является высочайшая производительность и качество продукции.

Оптический контроль по пролетающему свидетелю

Добивайтесь высокой воспроизводимости и одновременно качества продукции

Наша система прямого оптического контроля с обратной связью, Leybold Optics OMS 5100, обеспечивает точное детерминирование момента окончания напыления каждого слоя. При напылении многослойных покрытий можно задействовать автоматизированную систему загрузки, что позволит менять контрольные стекла, не нарушая вакуума в камере техпроцесса. Благодаря всему этому Helios можно оставлять без присмотра в течение длительного времени без ущерба для качества продукта.

Позволяет быстро переносить оптический дизайн в формате файлов LMR и LPR в напылительную установкуу. Напылительные установки идеально подходят для применения фильтров широкого ассортимента. Это помогает быстро создавать новые продукты и сокращать время их выхода на рынок.

Одновременное распыление с двух магнетронов обеспечивает возможность наносить слои со значением показателя преломления, лежащим между показателями распыляемых материалов. Это повышает гибкость производства и позволяет быстро моделировать или увеличивать суточную производительность.

Настройте вакуумную напылительную установку Helios в соответствии с вашими требованиями к изделиям, процессу и производству.

Ключевые темы

Миллиарды людей ежедневно имеют дело с технологиями Бюлер, чтобы удовлетворить свои основные потребности в питании и передвижении. Наш девиз — «Инновации, совершенствующие мир». Узнайте больше о наших ключевых темах.

No Results Found

Связанные продукты

No Results Found
Content Block

Чем мы можем помочь?


Гупфенштрассе 5
Уцвиль
9240
Швейцария